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至纯科技公告，公司拟公开发行可转债，募资不超11亿元，扣除发行费用后，募集资金拟全部投资于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目、补充流动资金或偿还银行贷款。
